Realisation eines teilkorrigierten Massenseparators aus zwei Wien Filtern für eine Niederenergie-Ionensäule

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URI: http://hdl.handle.net/10900/53698
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:21-dspace-536980
Dokumentart: Dissertation
Date: 2014
Language: German
Faculty: 7 Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät
Department: Physik
Advisor: Plies, Erich (Prof. Dr.)
Day of Oral Examination: 2014-05-30
DDC Classifikation: 530 - Physics
Keywords: Physik , Ion , Filter
License: Publishing license including print on demand
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Inhaltszusammenfassung:

In dieser Arbeit wird ein Massenseparator entwickelt und zwischen Strahlerund Objektivlinse einer Niederenergie-Ionensäule adaptiert. In diesem Bereich ist der Strahlengang nahezu telezentrisch. Der Massenseparator besteht aus zwei antiparallel erregten Wien Filtern und ist folglich, bezüglich der Aberrationen, teilkorrigiert. Die Leistungsdaten der Niederenergie-Ionensäule werden nicht beeinträchtigt, da für jedes Primärion die Erregung passend gewählt wird. Experimentell konnten alle Ionen einer Gallium Flüssigmetallionenquelle sowie einer Gold-Germanium-Silizium Legierungsquelle, bei einem kinetischen Potential von 8 kV im Massenseparator, erfolgreich getrennt werden.

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