UHV-Cluster-Anlage zur Herstellung von Dünnfilmstrukturen und Transport- und Rauscheigenschaften von YBa2Cu3O7-d-Korngrenzen-SQUIDs

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dc.contributor.advisor Kölle, Dieter (Prof. Dr.) de_DE
dc.contributor.author Back, Christoph de_DE
dc.date.accessioned 2007-05-25 de_DE
dc.date.accessioned 2014-03-18T10:16:42Z
dc.date.available 2007-05-25 de_DE
dc.date.available 2014-03-18T10:16:42Z
dc.date.issued 2007 de_DE
dc.identifier.other 275373622 de_DE
dc.identifier.uri http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:21-opus-28512 de_DE
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10900/49040
dc.description.abstract Für die Herstellung oxidischer und metallischer Dünnfilmstrukturen wurde ein UHV-Dünnschichtdepositionssystem konzipiert, aufgebaut und im Betrieb optimiert. Für oxidische Materialien wurde die Technik der epitaktischen Schichtabscheidung mittels gepulster Laserablation (Pulsed Laser Deposition, PLD) implementiert. Während der PLD-Prozesse kann das Wachstum der Filme mittels Hochdruck-RHEED (Reflection High-Energy Electron Diffraction) analysiert werden. Ferner besteht die Möglichkeit des erzwungenen Lagenwachstums durch Pulsed Laser Intervall Deposition (PLiD) sowie der automatisierten Fabrikation von heteroepitaktischen Multilagen. Für Metalle wurde sowohl die Technik des Magnetronsputterns als auch des Verdampfens mittels Elektronenstrahl implementiert. Darüber hinaus steht zum Ionenstrahl-Ätzen und zum Reinigen von Oberflächen eine Hochfrequenz-Plasmaquelle zur Verfügung. Die drei Depositionstechniken sind in separaten Kammern untergebracht, die durch eine zentrale Handlerkammer verbunden sind, so dass alle Ferner wurden supraleitende Quanteninterferometer (SQUIDs) auf der Basis von epitaktisch gewachsenen bikristallinen Filmen des Hochtemperatursupraleiters YBa2Cu3O7 mit Hilfe eines kombinierten Verfahrens aus nasschemischem und Ionenstrahl-Ätzen strukturiert. Durch den kombinierten Strukturierungsprozess können unerwünschte Randsignale bei der Abbildung von Flussquanten mittels Tieftemperaturrasterelektronenmikroskopie vermieden werden. Die hergestellten SQUIDs wurden bezüglich ihrer elektrischen Transport- und Rauscheigenschaften charakterisiert. de_DE
dc.description.abstract A UHV-thin-film-deposition system for the fabrication of thin film structures of metals and oxides was designed and optimized. For oxide materials, Pulsed Laser Deposition (PLD) was implemented. Epitaxial thin film growth can be analyzed during the PLD process by high-pressure RHEED (Reflection High-Energy Electron Diffraction). Furthermore layer-by-layer growth can be triggered by Pulsed Laser Intervall Deposition (PLiD). Heteroepitaxial multilayers can be fabricated automatically. Metal thin films can be grown by planar magnetron sputtering and by electron beam evaporation. Furthermore the system contains an rf-plasma source for surface cleaning and Ion Beam Etching (IBE). The three different deposition techniques are located in separate vacuum chambers which are connected by a central handling chamber allowing to combine all these processes in-situ. Furthermore superconducting quantum interference devices (SQUIDs) were fabricated out of epitaxially grown high-temperature superconducting YBa2Cu3O7-films on bicrystals. The SQUIDs were structured using a combined process of ion milling and chemical wet etching. By this combined etching process, edge signals that appear during imaging of flux quanta by low temperature scanning microscopy can be avoided. The transport- and noise properties of the SQUIDs were investigated. en
dc.language.iso de_DE de_DE
dc.publisher Universität Tübingen de_DE
dc.rights ubt-podok de_DE
dc.rights.uri http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_mit_pod.php?la=de de_DE
dc.rights.uri http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_mit_pod.php?la=en en
dc.subject.classification Impulslaserbeschichten , PVD-Verfahren de_DE
dc.subject.ddc 530 de_DE
dc.subject.other PLD , Oxid , Dünnfilm , Metall , RHEED de_DE
dc.subject.other PLD , oxide , metal , thin film , RHEED en
dc.title UHV-Cluster-Anlage zur Herstellung von Dünnfilmstrukturen und Transport- und Rauscheigenschaften von YBa2Cu3O7-d-Korngrenzen-SQUIDs de_DE
dc.title UHV-Cluster-Tool for Fabrication of Thin Film Structures and Transport- and Noise Properties of YBa2Cu3O7-d Grain Boundary-SQUIDs en
dc.type Dissertation de_DE
dc.date.updated 2007-05-25 de_DE
dcterms.dateAccepted 2007-02-16 de_DE
utue.publikation.fachbereich Physik de_DE
utue.publikation.fakultaet 7 Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät de_DE
dcterms.DCMIType Text de_DE
utue.publikation.typ doctoralThesis de_DE
utue.opus.id 2851 de_DE
thesis.grantor 12/13 Fakultät für Mathematik und Physik de_DE

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