UV Hyperspectral Imaging as Process Analytical Tool for the Characterization of Oxide Layers and Copper States on Direct Bonded Copper

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UV Hyperspectral Imaging as Process Analytical Tool for the Characterization of Oxide Layers and Copper States on Direct Bonded Copper

Autor(en): Al Ktash, Mohammad; Stefanakis, Mona; Englert, Tim; Drechsel, Maryam S. L.; Stiedl, Jan; Green, Simon; Jacob, Timo; Boldrini, Barbara; Ostertag, Edwin; Rebner, Karsten; Brecht, Marc
Tübinger Autor(en):
Al Ktash, Mohammad
Stefanakis, Mona
Brecht, Marc
Erschienen in: Sensors (2021), Bd. 21, H. 21
Verlagsangabe: Basel
Sprache: Englisch
Referenz zum Volltext: http://dx.doi.org/10.3390/s21217332
ISSN: 1424-8220
DDC-Klassifikation: 540 - Chemie
600 - Technik
Dokumentart: Wissenschaftlicher Artikel
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