Simulation approach of atomic layer deposition in large 3D structures

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Simulation approach of atomic layer deposition in large 3D structures

Autor(en): Schwille, Matthias C.; Barth, Jonas; Bartha, Johann W.; Oettel, Martin; Schössler, Timo; Schön, Florian
Tübinger Autor(en):
Oettel, Martin
Erschienen in: Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering (2017), Bd. 25, H. 3
Verlagsangabe: Bristol : IOP Publishing
Sprache: Englisch
Referenz zum Volltext: http://dx.doi.org/10.1088/1361-651X/aa5f9d
ISSN: 1361-651X
DDC-Klassifikation: 530 - Physik
600 - Technik
Dokumentart: Wissenschaftlicher Artikel
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